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非蒸散型吸气剂材料是近年来广泛应用于真空领域的一种重要材料,但过高的活化温度限制了它的应用场景。本文使用比例均匀一致的钛锆钒合金作为靶材,经直流磁控溅射沉积了活化性能良好的非蒸散型吸气剂薄膜,使用X射线光电子能谱对薄膜的表面化学状态进行了分析。结果表明随着加热温度的升高薄膜表面成分呈现高氧化态-低氧化态-金属态的变化规律,该薄膜在150℃下加热后开始发生明显活化,并且在温度升高后活化程度进一步增高。薄膜在激活后具有良好的吸气性能,且薄膜的长时间使用具有可靠的稳定性。 相似文献
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低能宽束离子源是离子束沉积、刻蚀和表面改性系统的核心部件,综述了考夫曼、射频等离子体、电子回旋共振等离子体、无栅网等四种离子源的等离子体的产生方式,对结构重点进行了分析,并从参数性能上进行了比较.稳定性好、与反应气体兼容的特点使射频和电子回旋共振离子源在低能离子束系统中取得了广泛应用,由于结构简单,束散角大,无栅网离子源目前仅限应用于薄膜沉积和薄膜改性等. 相似文献
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随着分子流漏孔的广泛应用, 迫切需要一种制作简单、成本低廉且流导可控的分子流漏孔制作方法。本文基于阳极多孔氧化铝 (AAO) 模板, 利用打孔硅片作为掩膜和支撑材料, 制作出不同有效面积的AAO新型分子流漏孔, 然后使用自主设计的动态差压法漏孔测量设备, 以氮气、氦气和氩气作为测试气体对所制作的直径分别为2和13 mm圆形AAO分子流漏孔流导进行了测量。实验结果表明, 漏孔的流导测量值接近理论计算值, 流经AAO漏孔的气体始终保持分子流状态, 即流导维持不变。AAO分子流漏孔具有制备工艺简单、成本低、流导可控且可预测不同种类气体流导等优点。 相似文献
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真空高温热解炉是一种研究基元反应的实验装置,其炉内的高温使分子分解成不同的小分子自由基等中间体,中间体再继续反应生成复杂的反应产物。传统热解炉的恒温区只有整个加热区长度的三分之一左右,且炉管末端温度下降过快,导致小分子自由基等中间体在温度的变化下继续发生反应,不利于反应动力学测量。通过COMSOL仿真软件对热解炉内部加热情况进行有限元仿真模拟,并通过热解装置对仿真结果进行实验验证。采用改变主要加热区的电阻丝缠绕密度,以及增加炉管末端出口额外后加热区的方法,实现热解炉内大比例恒温区占比,恒温区比例甚至可以达到加热区长度的80%,以及入口升温迅速、出口降温缓慢可控的效果,大大改善了热解炉内部加热情况,利于在炉管末端取样测量,便于研究基元反应动力学。优化后的新型热解炉也可以应用于其他领域,例如一些材料的热处理、加工、制备、烧结、焊接和镀膜等方面,温度分布的优化对其同样具有重要意义。 相似文献
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分析罗茨泵的工作过程,根据平行平板间衡薄气体的流动理论建立泄漏模型,用模型来描述转子回转和不同流态下的压力差引起的径向泄漏,求解数学模型可以改进泵的性能提供理论依据。 相似文献
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低能离子束表面改性对聚碳酸酯(PC)润湿性能的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
本文利用氩氧混合低能离子束对双酚A型聚碳酸酯(PC)透明材料进行表面改性,主要研究了改性前后表面润湿性的变化。结果表明,改性后的PC表面润湿性能得到了明显的改善,经XPS分析发现,改性后的PC表面生成了大量的含氧极性基团,使得表面含氧量有了很大的提高。原子力显微镜(AFM)的测试结果表明,改性后的PC表面粗糙度先减小后增大。 相似文献
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