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燃烧合成过程中,温度的测定对产品质量的控制是非常重要的,本文采用美国国家仪器公司的数据采集卡、调理模块等建立了硬件系统,用LabVIEW6i编写了三点测温的可视化程序,测温元件为W/Re3-W/Re25热电偶,并用电位差计进行了温度标定。用此系统测定了燃烧合成氮化硅过程中三个点的温度。  相似文献   
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