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基体温度对磁控溅射沉积ZAO薄膜性能的影响 总被引:6,自引:2,他引:6
利用中频交流磁控溅射方法 ,采用氧化锌铝陶瓷靶材 [w(ZnO) =98%、w(Al2 O3 ) =2 % ]制备了ZAO(ZnO∶Al)薄膜 ,观察了基体温度对ZAO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响 ,采用X射线衍射仪对薄膜的结构进行了分析 ,采用光学分度计和电阻测试仪测量了薄膜的光学、电学特性 ,采用霍尔测试仪测量了薄膜的载流子浓度和霍尔迁移率。结果表明 :沉积薄膜时的基体温度对薄膜的结构、结晶状况、可见光透射率以及导电性有较大的影响。当基体温度为 2 5 0℃ ,Ar分压为 0 8Pa时 ,薄膜的最低电阻率为 4 6× 10 -4Ω·cm ,方块电阻为 35Ω时 ,可见光 (λ =5 5 0nm)透射率高达 92 0 %。 相似文献
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实体膨胀管技术作为一项先进的钻井技术,其技术优势在套损修复、固井、完井等领域逐渐显露出来。管材的设计研发是实体膨胀管3大关键技术之一,也是制约膨胀管应用的主要技术瓶颈。介绍了实体膨胀管的技术原理,综述了国内外实体膨胀管管材的研发现状,重点分析了实体膨胀管管材所需的力学性能。在此基础之上,着重介绍了现有的双相钢、TRIP-assisted钢以及高锰奥氏体TWIP/TRIP钢3种高塑性高强度钢铁材料的力学性能特点、材料设计原理及热处理工艺,对它们作为实体膨胀管管材使用的可行性进行了讨论。 相似文献
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国家广播电影电视总局无线电台管理局魏瑞发、陈锡安两位老师编著的《脉阶调制设备》一书详细分析了 PSM调制器的基本原理和各单元电路的工作过程 ,本文就我台所用黑龙江广播设备制造厂的 5 0 k W PSM发射机循环调制器电路 D触发器复位脉冲、JK触发器时钟脉冲的产生过程 ,作一简略分析。图 1为循环调制器的部分电路图 ,与本文叙述无关部分没有绘出。 CL K为 PSM调制器的时钟信号 ,由镇噪板的锁相环产生 ;D触发器输入信号记为 Dx、Dy ,输出信号记为 Qx、Qy,作为移位寄存器的时钟脉冲 ;由本电路产生的 JK触发器的时钟触发信号记为 J… 相似文献
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工作气压对磁控溅射ZAO薄膜性能的影响 总被引:7,自引:0,他引:7
工作气压在ZnO∶Al(ZAO)薄膜制备过程中是一个重要的工艺参数,直接决定着薄膜的性能。本文利用中频交流磁控溅射方法,采用氧化锌铝(ZnO与Al2O3的质量比为98∶2)陶瓷靶材,在基体温度为250℃,工作气压范围为0.2~8.0Pa条件下,制备了ZAO薄膜。利用X射线衍射仪和原子力显微镜对薄膜的结构和形貌进行了分析和观察,利用分光光度计和霍尔测试仪测量了薄膜的光学和电学性能,研究了制备薄膜时不同的工作气压(氩气压力PAr)对薄膜的结构、形貌、光学性能和电学性能的影响。结果表明:随着工作气压的增加,薄膜的电阻率先略有下降然后上升,相应地,载流子浓度和迁移率先略有上升然后下降,而可见光谱平均透过率保持在80%以上。当基体温度为250℃,氩气压力为0.8Pa时,薄膜的电阻率最低,为4.6×10-4Ω·cm,方块电阻为32Ω时,在范围为490~600nm的可见光谱内的平均透过率可达90.0%。 相似文献
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本文介绍上海四平中学地下车库工程基坑开挖采用的水泥土桩连续墙,它是用水泥与软粘土就地搅拌,在地基土内形成土桩以稳定基坑边坡。文中叙述了水泥土桩连续墙的计算方法和试验资料。 相似文献
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调幅广播发射机调制制式的发展经历了电子管时代的乙类阳极调制(以及同一时代的自动阳极调制等)、脉冲宽度调制(PDM,也可应用全固态发射机)、脉冲阶梯调制(PSM),以及全固态化时代的数字调幅制式(DAM,发射信号依然是模拟的正弦调幅波,并非数字声音广播),直到最新的M2W调制方式。 相似文献
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