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采用溶胶-凝胶(sol—gel)旋涂法在载玻片上制备了不同A1掺杂量的Mg—Al共掺杂ZnO薄膜.在室温下利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光(PL)谱仪等手段分析了Mg—Al共掺杂Zn0薄膜的微结构、形貌和发光特性.XRD结果表明Mg.AI&掺杂zn0薄膜具有六角纤锌矿结构;随着Al掺杂量的增加,共掺杂薄膜呈C轴取向生长.由SEM照片可知薄膜表面形貌随Al掺杂量的增加由颗粒状结构向纳米棒状结构转变.透射光谱表明共掺杂薄膜在可见光区内的透射率大于50%,紫外吸收边发生蓝移.在室温下的PL谱表明Mg—Al共掺杂zn0薄膜的紫外发射峰向短波长方向移动:Al掺杂摩尔分数为1%和3%的Mg—Al共掺杂ZnO薄膜的可见发射峰分别为596nm的黄光和565nm的绿光.黄光主要与氧间隙有关,而绿光主要与氧空位有关. 相似文献
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