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爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究 总被引:3,自引:0,他引:3
通过爆炸压实烧结纳米ITO粉末制备了ITO陶瓷靶材,结果表明爆炸冲击压实在靶材的后续烧结密实过程中起到了促进作用,它与常规的加压烧结相比,具有操作简单,设备要求低等很多优点。经过爆炸压实的烧结靶材具有细小的晶体颗粒,比商业靶材的晶粒度小约1个数量级。 相似文献
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ITO纳米粉末爆炸压实烧结致密化陶瓷靶材研究 总被引:6,自引:0,他引:6
对ITO商业复合粉末应用爆炸冲击方法压实烧结,并对样品进行了XRD和ESM检测.通过粉末和压实后样品的XRD图及SEM照片的比较,发现在爆炸冲击压实纳米ITO陶瓷粉末时,能够使晶粒度减小,有助于后续烧结密实过程中控制ITO靶材的晶粒度的过分长大;SEM图片显示,在1200℃烧结的靶材微观结构比较均匀.本文探索了纳米ITO粉末冲击压实烧结的微观机理,并与以往人们对粉末的冲击沉能结论进行了比较,得出结论:压实烧结的主要机理是破碎填充效应,使得一部分粉末颗粒表面原子间的距离达到了点阵量级,从而产生键合力;一部分表面原子间的距离达到了一定小的程度,Vander Waals力使其结合. 相似文献
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改进爆炸实验装置,并利用该装置实施了预热爆炸压实实验。以商业ITO纳米陶瓷粉末为原料,通过压力机将粉末压实到大约50%理论密度的初始压坯,选择预热温度为800℃以上进行爆炸压实,从而获得了致密且晶粒在纳米量级的良好烧结体。结果表明:预热爆炸烧结体微观组织结构均匀,晶粒尺寸分布在200nm左右,且将烧结体在扫描电镜上放大到100,000倍时仍未发现明显孔洞和微裂纹等缺陷。认为宏观塑性变形和晶粒长大是导致良好烧结的2个主要机制。 相似文献
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