临界喷嘴在真空泵抽速测试及计量中研究和应用

真空泵抽速测量有多种方法,其准确度受到方法、仪表精度等影响。其中定流量法作为其中一种方式,其建立在一元可压缩流体理论基础上。文章结合一元可压缩流体基础理论与现有测试方法,提出将喷嘴临界状态作为定流量法测量基础。通过喷嘴临界状态的出现以及临界值计算,作为真空泵流量的测量方法基准数值,测量过程中只需要测定环境参数就可以测定真空泵流量,进而计算真空泵在某规定压力下的抽速。该测量方法装置和过程简单,容易操作,外界因素影响自然降低到最低,是一种可靠、绿色测量方法。抽速作为真空泵最重要参量,数字化、智能化测量是发展方向,准确的抽速测定是真空泵及系统优化的依据,将推动真空技术发展。