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直流磁控溅射铂电阻薄膜 总被引:8,自引:0,他引:8
根据薄膜理论和通过成膜工艺实验,研究了影响铂薄膜电阻温度系数的主要因素。1)对铂靶材料的纯度要求高,含杂质极少;2)淀积薄膜要有一定厚度,通常近于1μm才能有较大的α;3)成膜以后,需经过高温热处理,减少缺陷,结晶化改善。通过大量实验,使用高铝陶瓷基片或微晶玻璃基片,溅射铂薄膜的厚度为800nm,高温热处理1h,可以获得电阻温度系数为3.850×10-3/℃的铂电阻薄膜。 相似文献
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本文根据现有国内外期刊资料,综合薄膜温度传感器的研制生产状态和发展动向,认为按其固有特点、优势,它有较强的竞争力。从它的结构和工艺来看,有如下特点:热响应速度快,电阻阻值范围宽,选材广泛,机械性好,精度高,体积小,重量轻,成本低。可平面化,集成化。该文介绍了国内外巳研制或生产的几种薄膜温度传感器:SiC,SnSe、MnCo、V_3O_5、Ti、Ni、Gc、Pt等,并介绍它们的工艺、结构、特点和应用。这里着重指出Pt薄膜具有线性的电阻温度关系,适合二次仪表配套,并举出它在表面测温、瞬时测温、真空内测温和一般情况下的应用。该文认为开发薄膜技术、研制和生产各类薄膜传感器,满足四化需要,意义深远,前程广阔。 相似文献
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