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采用脉冲激光(PLD)和磁控溅射(MS)沉积技术制备了Mo薄膜,用扫描电镜(SEM)、白光干涉仪和X射线衍射仪(XRD)分别表征了薄膜的表面形貌和组织、表面粗糙度和薄膜密度。结果表明,PLD沉积的Mo的表面形貌受脉冲能量和基体温度的影响较大,能量越高、表面缺陷增多。MS沉积的Mo薄膜较致密,呈典型的柱状生长行为。PLD秽MS沉积的Mo薄膜的表面粗糙度均较好,R小于20nm。对实验结果进行了讨论。 相似文献
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微米级Mo-Al轧制箔扩散连接界面相的形貌及反应动力学 总被引:2,自引:0,他引:2
采用固相真空扩散连接方法,在873-913 K保温40-240 min条件下对轧制厚度分别为20和60um的Mo和Al箔进行扩散连接.发现Mo-Al固-固界面反应初生相在Mo箔内部形核进而"破壳"生长的形貌演变模式,成分分析表明该初生相为AlsMo3.初生相"破壳"后,Mo-Al界面上由Mo至Al的产物分布依次是Al8Mo3,Al5Mo和Al12Mo;在913 K保温240 min后,Al8Mo3与Al5Mo间出现Al4Mo相.界面反应的动力学分析表明,873-913 K条件下,Mo-Al界面反应初生相孕育期为52-34.5 min;Al原子在Mo-Al界面新生相内和Mo箔内的扩散指前因子D01和D02分别为4.61×10-2和2.05×10-2cm2/min,扩散激活能GAl-1和GAl-2分别为0.98和1.48 eV. 相似文献
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铀表面Ti/Al复合镀层中Ti膜表面氧化结构研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用电子能量损失谱(EELS)和俄歇电子能谱(AES)研究了铀表面磁控溅射离子镀Ti/Al复合镀层中Ti膜在6.5×10-6PaO2、150℃~400℃和0.05MPaO2、200℃~500℃环境中表面化学结构变化,并与块状金属Ti的行为进行了比较.结果表明,Ti膜表面结构随着氧化温度和氧分压而变化.在0.05MPaO2足氧气氛中,在200℃~500℃下氧化时,Ti膜与块状金属Ti表面形成的氧化物均为TiO2.在6.5×10-6PaO2环境中,在较高温度(400℃)下由于表面缺氧Ti膜表面仅形成TiO,在较低温度下(≤250℃)由于O的扩散速度降低,Ti膜逐步向TiO、Ti2O3、TiO2转变,最后在表面形成了TiO2.O在Ti膜中的扩散速度较块状金属Ti明显加快.结合热力学对Ti膜氧化物结构变化进行了讨论. 相似文献