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付永忠 《中国有色金属学会会刊》2008,18(1):167-170
GeSb2Te4 films were deposited on Si substrates by RF magnetron sputtering, and the effects of sputtering power on the surface topography and anti-compression properties were studied with atomic force microscope(AFM) and nanoindenter. Meanwhile, the mechanical properties of GeSb2Te4 films with oxygen impurity were also investigated. The results indicate that proper sputtering power is important for obtaining GeSb2Te4 films with high compact structure and low surface roughness, which present good load-support capacity. Although the effect of oxygen impurity on the anti-compression properties of GeSb2Te4 films is not very significant as a whole, certain oxygen dosage can relax the internal stress, thereby the hardness of the films drops slightly. 相似文献
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Win95平台下数控系统的数据处理方法 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了NC数据处理的两种常用方法,并且结合Windows95的特点,提出了一种预处理与译码分离、编译方法与解释方法相结合的新方法。 相似文献
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设计了基于LabVIEW2013的气液增力缸式压装机压力、位移采集显示方案,通过LabVIEW+ ni数据采集卡的方式实现对气液增力缸的压力、位移数据的高速采集、实时显示、大量数据存储等功能。详细介绍了系统的软、硬件设计,包括传感器的选择、信号调理模块的使用、采集卡和PC机的选型以及软件程序的编写和参数配置,并完成相关的试验,对试验数据进行了分析和处理。试验表明该方案的系统设计不仅能达到所预期的目标而且具有程序编程简单、人机界面良好、重复利用率高、采集数据准确和操作方便等优点,是一种非常有效的数据采集方案。 相似文献
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针对传统路径规划算法在机械手路径规划中未考虑机械臂干涉、搜索效率低、路径不合理等问题,在建立了机械手空间模型,采用二次投影法分析和计算机械手操作空间的基础上,将障碍模型和操作空间栅格化,并提出了改进的遗传算法。在遗传算法的设计中,使用实数编码和三维坐标编码相结合的编码方式将栅格进行编码,改进交叉算子,定义最小基因交叉片段数量比,提高了搜索效率,简化了计算过程。通过Matlab建立了机械手仿真模型,验证了算法的有效性,且在实验条件和实验对象等各项参数相同的情况下,相对于传统路径规划算法,搜索效率,最优路径比等得到明显提升。 相似文献
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硅基微机械表面粘附及摩擦性能的AFM试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在Si(100)基片上制备了十八烷基三氯硅烷(OTS)分子润滑膜,并用原子力显微镜(AFM)对比研究了施加OTS膜前后的硅表面的粘附、摩擦磨损性能。试验考虑了相对湿度和扫描速度对粘附、摩擦性能的影响。结果表明,相对于硅构件来讲,OTS膜表面粘附力较小,具有较小的摩擦因数,呈现较好的润滑性能;硅构件受湿度变化的影响比OTS膜明显。微构件的摩擦性能由于水合化学作用生成Si(OH)。润滑膜,使得其受相互间运动速度影响很大。OTS膜不仅是一种耐磨性较好的润滑膜,而且有良好的稳定性。 相似文献
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