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针对4-Mask工艺铜数据线腐蚀造成的锯齿状不良现象进行系统研究,发现铜腐蚀发生的工艺步骤和机理,并找到有效的措施。首先,通过显微镜对每道刻蚀工艺后铜数据线形貌进行观测,确定铜腐蚀发生的工艺步骤。接着,通过扫描电子显微镜和X射线电子能谱测量腐蚀生产物成分,对腐蚀机理提出合理解释。最后在铜腐蚀发生机理基础上,提出有效的改善措施。铜腐蚀是在有源半导体层干刻和光刻胶的灰化综合作用下发生,其主要产物为氧化铜、氯化铜。通过先进行灰化工艺然后进行有源半导体层干刻的工艺措施,在铜数据线两侧形成氧化铜保护膜,可以彻底改善铜腐蚀。改善措施可以解决铜腐蚀的问题,彻底消除铜数据线锯齿状不良。 相似文献
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道路交通规划建设与城市形态演变关系分析——以东京道路为例 总被引:4,自引:0,他引:4
我国城市道路建设面临日益巨大的压力 ,认真分析发达国家道路规划建设的过程 ,将给人们有用的启迪。本文在对日本东京城市交通规划、建设进行剖析的基础上 ,结合区位理论 ,对城市土地利用形态和道路网络形态的关系进行了研究 ,得出认识问题、解决问题的经验和对我国城市发展有指导意义的结论 相似文献
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为避免分布式光伏电源开放接入的住宅配电网出现电压越限问题,确定其光伏准入容量成为了重要的规划问题。文中通过建立基于蒙特卡罗方法的逐时估算模型来对住宅配电网的光伏准入容量进行研究。首先提出基于蒙特卡罗方法的配电网光伏接入场景分析方法,然后建立结合了电压控制策略的逐时估算模型来计算系统的光伏准入容量,最后使用逐时估算模型并结合马尔科夫链预测方法对住宅配电网进行光伏准入容量逐年分析,并对结果进行精度分析。文中使用MATLAB软件,以某地区历史负荷数据为基础,对IEEE 33节点配电系统进行模拟仿真,结果表明文中方法对于系统光伏准入容量的估算和预测均满足一定的精确度要求,对开放式配电网分布式电源的规划具有较大意义。 相似文献
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