NDR系列声表面波谐振器批生产技术研究

声表面波谐振器件作为频率控制元件，要求谐振频率准确，批量生产技术难度较大。文本对批生产的要素，关键工艺技术和工艺过程质量控制等方面进行了讨论。已批量生产的ＮＤＲ系列声表面波谐振器三大系列百余品种，性能均达到国外同类器件水平，生产线通过ＩＳＯ９００２质量保证体系认证。     

C波段3瓦T形电极硅双极晶体管

本文报道了一种自对准Ｔ形电极结构的硅双极晶体管的制作和实验结果．这种结构的晶体管发射极和基极接触窗口的间距仅０．４μｍ，发射极排列周期为４μｍ．测试结果表明，晶体管在４．２ＧＨｚ下，连续波输出功率大于３Ｗ，增益８ｄＢ和集电极效率４０％；作为振荡应用时。在４．３ＧＨｚ的振荡频率下，振荡输出功率可达１Ｗ，ＤＣ－ＲＦ转换效率为２０％．     

声表面波器件制作中的干法刻蚀工艺

声表面波器件广泛应用于有线和无线通讯中。利用半导体加工工艺制作声表面波器件，由于所使用的工艺的特殊性，并不能完全按照硅工艺。该文讲述了用干法刻蚀工艺制作声表面波器件及其工艺特殊性。