硅微板条谐振式传感器谐振频率分析及计算

对硅微机械谐振式传感器的谐振频率计算提出了新的物理模型—两端固支薄板条模型，该模型不同于常说的硅桥（梁）或硅弦模型。计算结果表明该模型更符合实际，优于有关文献结果。     

硅微机械谐振式传感器超振机理分析

本文描述了激光束与硅桥作用产生的光弹，光热和光生电致张力效应。从基本的光生载流子方程和热扩散方程出发，分析和计算了各效应在桥上产生应力的大小，表明光生电致张力效应是硅桥起振的主要原因。     

硅微板条谐振式传感器谐振频率率分析及计算

对硅微机械谐振式传感器的谐振频率计算提出了新的物理模型－两端固支薄板条模型，该模型不同于常说的硅桥（梁）或硅弦模型。计算结果表明该模型更符合实际，优于有关文献结果。