MEMS运动件的芯片外机械驱动方法

研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合,从而驱动微运动件.重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点,介绍国外代表性研究结果,并提出对该方法进一步研究的观点与设想.     

硅基光子晶体板的光刻和反应离子刻蚀

用光刻和反应离子刻蚀的方法对硅材料光子晶体板的制作进行了研究。实验发现,与激光 直写曝光相比,光刻曝光更有利于胶上图形的陡直度。扫描电子显微镜测试表明,反应离子刻蚀后得到深3.3μm,晶格周期10.95μm,占空比50%的孔状光子晶体板结构,孔的陡直度保持较好,基本满足设计要求。     

国产SA-182F92钢冷裂敏感性研究

92级钢是在91级钢的基础上改良开发出来的新钢种,具有优良的高温强度和抗蠕变性能,其最高设计工作温度达625 ℃,主要用于超超临界压力锅炉中的高温部组件中.SA-182F92是92级钢中的合金锻件.通过插销冷裂纹试验、斜Y型坡口冷裂纹试验,系统研究国产F92钢冷裂敏感性及影响因素,并探讨冷裂纹萌生、扩展机制,为国产F92钢的生产应用提供了有力的技术支持.     

超滤膜组合工艺在青浦第三水厂设计中的应用

提出采用高效沉淀、臭氧生物活性炭与超滤膜组合工艺处理黄浦江上游微污染原水,并介绍了该工艺在上海市青浦第三水厂中的具体应用与设计参数。实际运行表明,该工艺可确保出厂水浊度<0.1 NTU、耗氧量<1.5 mg/L、氨氮<0.2 mg/L,处理效果稳定,供水安全性高。     

基于群体平衡原理的絮凝反应模型

絮凝构筑物设计阶段普遍使用基于层流理论的甘布公式计算平均G值,对絮凝池内部细节设计缺乏紊流理论依据。为此,依据紊流理论,基于群体平衡原理,建立了完整的絮凝反应模型(Floc-SMEDI)。通过非定常湍流模型、多相流模型、群体平衡模型以及絮凝反应模型的耦合,模拟水处理絮凝阶段絮体的变化过程。经过多种池型的测试,该模型能有效模拟絮凝过程中絮体的变化情况,为絮凝池的优化设计以及新池型的研发提供了新依据。     

微光学元件阵列面阵LD光束整形及光纤耦合

采用微透镜阵列组成的快、慢轴准直器件进行高功率面阵半导体激光器阵列光束准直,从而减小其光参数积,进一步采用棱镜阵列对准直光束进行整形,实现两方向光束质量的平衡,使激光束的综合光参数积小于光纤的光参数积,提高光束质量,获得高耦合效率的光纤耦合模块.对5个吧条组成(每个吧条40 W、总输出功率为200 W)的面阵半导体激光器光束进行准直、整形聚焦并耦合到芯径800μm、数值孔径0.22的多模光纤,获得125.4 W的激光输出.     

MEMS运动件的芯片外机械驱动方法

研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题 ,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动 ,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合 ,从而驱动微运动件。重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点 ,介绍国外代表性研究结果 ,并提出对该方法进一步研究的观点与设想。     

微透镜阵列显示技术研究

通过对微透镜阵列结构进行深入研究,揭示了微透镜阵列对微图形的放大原理。并在此基础上,找到了微透镜阵列结构参数、微图形结构参数与微图形阵列移动速度、移动方向以及放大倍率之间的关系,利用微透镜阵列实现了对微图形放大、动态、立体的显示。     

双闪耀光栅的计算机设计与制作方法

提出一种用计算机设计制作的双闪耀光栅，是在闪耀光栅和双频光栅基础上发展起来的一种新型光学元件，是由微闪耀光栅列阵组成的、兼有闪耀光栅和双频光栅的优良特性。     

噪声对星载激光测高仪测距误差的影响

噪声是影响星载激光测高仪测距误差的重要因素。根据星载激光测高仪接收脉冲回波和噪声的分布特点,推导出接收脉冲回波信号时间重心的方差的理论表达形式,建立了噪声对激光测距误差的影响模型。基于激光测距误差最小化的原则,提出了一种星载激光测高仪低通滤波器的优化设计方法。以Geosicence Laser Altimeter System(GLAS)激光测高仪基本测量参数为输入条件,仿真分析了激光测距误差和低通滤波器均方根脉宽的优化结果的分布规律。对于倾斜度为0~40且粗糙度为0~15 m范围内的目标而言,噪声所导致的激光测距误差范围为0.28~32.49 cm,相应地,低通滤波器均方根脉宽优化值的范围为1.4~57.4 ns。针对倾斜度在1范围内的目标,解算得到GLAS星载激光测高仪低通滤波器均方根脉宽为2.2 ns,这与其实际公布的2 ns很接近。同时,低通滤波器的优化结果所对应的激光测距误差发生大幅减小,其最大值减小至10.93 cm,减小幅度接近3倍。结果表明,噪声是影响星载激光测高仪测距误差的重要因素,合理设计低通滤波器的参数可以消除其部分影响,这对于星载激光测高仪的硬件设计和性能评估具有一定实际应用价值。