基于TRIZ理论的环保原料场设计

环保料场较传统露天料场在降耗、减排、节能、节省用地、稳定生产等方面有明显的优势,是当前原料场技术发展的必然趋势。但现有环保料场内部空间利用率低,资源浪费严重,工程一次投资高,制约了环保料场的推广与应用。针对现有环保料场内部空间利用率低的问题进行系统描述,运用TRIZ理论分别进行系统功能分析和系统问题分析,求解得到一系列方案,并通过对比确定了最优方案。该方案采用刮板取料机半门型架上跨卸料小车的布置型式,刮板取料机走行梁不再需要单独设置,上部走行机构检修维护更为方便,解决了刮板取料机走行梁限制物料堆高的问题,提高了料场内部空间利用率,增大了料场贮量,降低了土建工程量,经济效益显著。     

刻蚀腔室中静电卡盘的设计空间

静电卡盘是半导体设备中的核心组件之一（简写成ESC或者E-chuck）,已经广泛应用在等离子和真空工艺的半导体工艺过程中。静电卡盘在吸附晶圆以及加热、冷却晶圆方面发挥着重要作用,并且有着诸如高稳定性、晶圆平坦度高、颗粒污染小、边缘效应小等优势。本文利用Paul和Beitz提出的工程设计方法,从已有的静电卡盘知识和技术中提取了关键的设计元素和知识来建立一个系统的设计空间。该设计空间包括：工作对象、工作原理、工作结构。工作对象包含静电卡盘的构件和材料、分类以及相关属性;工作原理包含静电力、残余力、温度控制等;工作结构则描述了如何有机的构成了静电卡盘整体以及如何满足全局的需求。该系统的设计空间展示了静电卡盘设计中的主要问题,也将在产品概念设计阶段辅助和启发设计者以实现提升设计品质、缩短设计周期的作用。