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从室外环境、净化厂房环境和深紫外光刻机设备内部的微环境3个层面,梳理空气颗粒污染物、空气分子污染物和振动等工艺环境问题的来源,构建深紫外光刻工艺环境模型。分析准分子激光器、光路、上版系统、传片系统和主工作台等深紫外光刻机主要部件在工艺环境控制方面的特殊要求。研究深紫外光刻工艺使用的化学放大光刻胶的工作机理,分析空气分子污染物对光刻胶乃至整个光刻工艺的影响。研究空气颗粒污染物、空气分子污染物和振动有关的技术标准和控制等级要求。提炼、总结深紫外光刻工艺环境控制方案,逐级开展空气颗粒污染物控制、空气分子污染物控制、温湿度控制和防微振工作。 相似文献
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在工业火雷管生产线技术改造中,生产线设计工作着重需要进行工艺方案选择。设计方案论证与确定,生产线标准设备造型,外购设备技术要求确定,非标设备和防护设施设计,装配线与设备的气路图设计,气动控制元件造型,生产线工辅具加工图设计等工作。文章从这些方面对公司工业火雷管生产线技术改造情况作一简介。 相似文献
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