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本文通过生产实际案例,研究了SPC质量管理工具在半导体磷扩散工艺中的应用,运用SPC控制图判断准则,对生产过程中的质量异常情况进行了监控和分析,通过一系列的纠正预防措施,使得质量异常得到管控,工序控制能力指数得到提升。 相似文献
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肖步文 《军民两用技术与产品》2014,(13)
垂直双沟道场效应晶体管(VDMOS)产品制备过程,在生长完场氧化后,需要进行P+离子注入工艺,在注入之前生长的阻挡氧化层,通常称之为牺牲氧化层,因为在注入完成之后,该氧化层需要被腐蚀去除,本文研究了牺牲氧化层的腐蚀工艺选择过程。 相似文献
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有机多层白光发光二极管 总被引:9,自引:6,他引:9
以四苯基二胺衍生物(TPD)为空穴传输材料,以蓝光染料酚基吡啶铍(BePP2)、黄光染料红荧烯(Rubrene)、绿光染料8-羟基喹啉铝(Alq3)分别为蓝、绿、红三基色染料,采用多层结构制备了有机多层白光发光二极管.该白光器件的色坐标为(0.33,0.36)(在7V下),接近等能点白光(0.33,0.33);该器件在17V下的亮度可以达到3000cd/m2,流明效率为0.3lm/W,是目前报道的比较好的结果 相似文献
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