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压电超声微电机是依靠定子振动变换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现,本文采用Rayleigh-Ritz方法来分析机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性,推导中考虑了平面应力和弯曲应力对固有频率的影响,模拟计算和实验结果符合得较好,此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。 相似文献
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覆盖热反射层的红外热电堆改进设计 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种封闭薄膜式红外热电堆上增涂金属反射层的新型设计。增涂的反射层通过向环境空间反射和传导冷端吸收的热量来增大传感器的响应率和探测率。同时,这种设计有效地改善了系统的可靠性,并降低了传感器由于环境温度漂移引起的性能参数不稳定,从而增强了整个系统的抗干扰能力。 相似文献
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PDMS微流控芯片中真空氧等离子体键合方法 总被引:3,自引:0,他引:3
聚二甲基硅氧烷(PDMS)由于具有良好的力学性质和光学性质以及生物相容性等特点,是极具前景的μTAS应用材料。由于固化后的PDMS表面具有一定的粘附力,一对成型后的PDMS基片不加任何处理,即可借助分子间的引力自然粘合,但这种粘合强度有限,容易发生漏液。Duffy等人采用高真空氧等离子体对PDMS进行处理,实现了PDMS芯片的永久性键合。但这种键合技术需要昂贵的高真空等离子体发生设备。孟斐等人报道了利用紫外光照射对PDMS芯片表面进行改性后键合的方法。 相似文献
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聚二甲基硅氧烷 (PDMS)由于具有良好的力学性质和光学性质以及生物相容性等特点 ,是极具前景的 μTAS应用材料[1] 。由于固化后的PDMS表面具有一定的粘附力 ,一对成型后的PDMS基片不加任何处理 ,即可借助分子间的引力自然粘合 ,但这种粘合强度有限 ,容易发生漏液。Duffy[2 ] 等人采用高真空氧等离子体对PDMS进行处理 ,实现了PDMS芯片的永久性键合。但这种键合技术需要昂贵的高真空等离子体发生设备。孟斐[3] 等人报道了利用紫外光照射对PDMS芯片表面进行改性后键合的方法 相似文献
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聚二甲基硅氧烷(PDMS)由于具有良好的力学性质和光学性质以及生物相容性等特点,是极具前景的μTAS应用材料[1].由于固化后的PDMS表面具有一定的粘附力,一对成型后的PDMS基片不加任何处理,即可借助分子间的引力自然粘合,但这种粘合强度有限,容易发生漏液.Duffy[2]等人采用高真空氧等离子体对PDMS进行处理,实现了PDMS芯片的永久性键合.但这种键合技术需要昂贵的高真空等离子体发生设备.孟斐[3]等人报道了利用紫外光照射对PDMS芯片表面进行改性后键合的方法. 相似文献
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