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测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法 总被引:3,自引:2,他引:3
介绍了一种测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法.硅各向异性腐蚀速率三维分布可由一系列晶面上的二维腐蚀速率分布表示.利用深反应离子刻蚀技术(DRIE)在{0mn}硅片上制作出侧壁垂直于硅片表面的矩形槽,测量槽宽度在腐蚀前后的变化,就可测定各{0mn}面上的二维腐蚀速率分布.将二维腐蚀速率分布组合在一起就得到了三维腐蚀速率分布.由于DRIE制作的垂直侧壁深度大,可耐受较长时间的各向异性腐蚀,所以只需使用一般的显微镜就能得到准确的结果.实验得到了40%KOH和25%TMAH中{n10}和{n11}晶面的腐蚀速率分布数据 相似文献
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容积法是计算油气地质储量的基本方法之一。但是,容积法计算油气地质储量的参数选值,习惯用大平均值、大面积计算,这不仅精度难保证,而且不能表达非均质性储层特性;不能适应当代测井新技术的发展;也不能满足当前油藏工程对地质参数高精度的要求。 通过对非均质油气藏地质特点的研究,我们提出用单元体积法计算油气地质储量,并用其结果编制油气储量分布图。计算结果不仅可得到一个总的储量数据,而且可以表示出油气藏范围内油气地质储量的分布情况,这在油气层非均质性研究、油气工业勘探、开发布井等方面,都可以发挥很好的指导作用。 笔者等用这种计算方法和表示法,实际计算了某油气田凝析气顶的油气储量,其结果得到了有关方面的好评。 相似文献
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介绍了园林工程全面质量管理的相关概念,对园林工程施工管理过程中存在的问题进行分析,以此来探讨全面质量管理在园林工程施工中的应用效果,从而提高园林工程施工的管理能力,保障园林工程施工质量,提升人们的生活环境水平,完善现代城市文明建设工作。 相似文献
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本文研究了H_2还原WF_6在α-Si/TiN/Al和TiW/Al衬底上LPCVD生长钨膜的特性。测量和分析了Al/W/TiN/Al和Al/W/TiW/Al结构的接触电阻和界面特性,研究了两种结构的热稳定性。结果表明,H_2还原WF_6可以在α-Si/TiN/Al和TiW/Al衬底上实现选择性钨淀积,钨膜质量较好。Al/W/TiN/Al和Al/W/TiW/Al结构接触电阻率为10~(-?)Ωcm~2量级,远低于难熔金属硅化物同硅的欧姆接触电阻率。两种结构的热稳定性良好。采用TiN或TiW作为Al和W之间的隔离层,CVD-W填充互连层连通孔可以满足多层金属平坦化互连技术的要求。 相似文献
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