用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制

为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案。试验结果表明,其各项性能指标均满足设计要求,对指导实际工业应用具有一定的参考价值。     

基于遗传算法的步进式扫描光刻机路径规划

根据步进式扫描光刻机硅片曝光过程的特点,建立了光刻机路径规划问题的数学模型。采用遗传算法对光刻机路径规划模型进行了合理的规划。规划结果表明,规划后的扫描路径能有效地提高光刻机的生产效率。     

光刻机试验运动装置振动信号的时频分析

步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用.为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步进扫描光刻机的运动特点.在此基础上,对试验装置的关键部件进行了振动测试,运用傅里叶变换和现代联合时频分析技术对测得的数据分别进行了分析,结果表明,采用联合时频分析技术更能反映系统的固有性质和振动特性,所得到的参数和结果对指导步进扫描光刻机隔振装置的设计具有一定的实际意义.     

步进扫描式光刻机隔振试验平台主动减振系统试验研究

根据步进扫描式光刻机的振动特点,设计隔振试验平台的减振系统,并对试验平台的主动减振系统进行测试研究.测试结果表明,步进扫描式光刻机隔振试验主动减振系统,能有效降低光刻机工作过程中运动部件对工作平台的冲击,具有良好的减振效果.     

光课机隔振试验平台定位系统的轨迹规划

介绍了微制造隔振试验平台定位系统运动轨迹的规划。为了减小运动部件加减速过程中对整个平台的冲击,在进行运动轨迹规划时,采用了S形曲线对定位系统的运动轨迹进行了平滑处理,有效降低了运动部件对系统的冲击,有利于系统的减振。     

光刻机模拟隔振试验装置内部世界动力学模型分析

为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导，解决光刻机掩模台、工件台由于高速运动而引起光刻机工作核心部分——工作平台的振动问题，根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求，设计了一种内部世界和外部世界用精密6自由度减振器连接的步进扫描光刻机隔振试验装置；建立了内部世界6自由度的动力学模型，运用设计的参数计算出了内部世界的固有频率和对应的振型；同时运用ANSYS有限元软件进行了分析计算，两者的计算结果吻合很好，验证了动力学模型的正确性。