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控制性详细规划与土地有偿使用杜立群土地的一级开发和有偿使用是我国迈向市场经济的重要标志。土地开发的一级市场应由政府牢牢地掌握,土地使用权的有偿转让也应在政府的有力监管下实行。这样才能使政府从土地中得到其应有的收益,以利于更好的造福于大众。控制性详细规... 相似文献
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微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究 总被引:3,自引:3,他引:0
在对基片曲率法常用的Stoney公式进行必要修正的基础上,提出了适合计算SU-8胶层内应力的理论模型,并采用轮廓法直观地测量了内应力引起的基底曲率的变化.通过ANSYS仿真揭示了基片直径,胶层厚度及后烘温度三者对基片曲率的影响.仿真结果表明:后烘温度是影响胶层内应力的主要因素.实验测量了后烘温度分别为55℃、70℃和85℃三种条件下的SU-8胶层的内应力.结果表明:降低后烘温度能有效地减小SU-8胶层的内应力,实验测量值与仿真计算值基本吻合.内应力的测量为SU-8胶层内应力的定量研究奠定了基础. 相似文献
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