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LPCVD水解法制备TiO2薄膜 总被引:5,自引:0,他引:5
本文利用LPCVD法水解四异丙醇钛(TTIP)制备TiO2薄膜,研究了制备过程中水解TTIP的反应动力学。通过对沉积温度和沉积率关系的研究,计算出TTIP水解反应表观活化能为59.85kJ/mo1。沉积温度不仅影响反应速率,还对TO2薄膜结构、表面形貌有决定性的作用。XRD和Raman分析表明:TTIP水解法制备TiO2薄膜,薄膜结构主要依赖于沉积温度。180℃—220℃沉积TiO2薄膜为非晶态,240℃—300℃沉积为锐钛矿和非晶态混杂结构。在水分压对TTIP水解反应影响的研究中发现,水分压为零时,TTIP发生热解反应,TiO2沉积率不为零,热解反应240℃无锐钛矿特征峰出现。这说明水解反应制备TiO2有利于降低锐钛矿的生长温度。氧分子的加入可以消除TiO2薄膜表面的“针孔”。 相似文献
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施工单位在施工前必须编制施工组织设计,设计中还应当包括施工现场临时用电方案。临时用电方案直接关系到用电人员的安全,也关系到施工进度和工程质量。应当编制临时用电施工组织设计,制定安全用电技术措施和电气防火措施。安全技术措施是为了实现安全生产,在防护上、技术上和管理上采取的措施。具体来说,就是在工程施工中,针对工程的特点、施工现场环境、施工方法、劳动组织、作业方法、使用的机械、动力设备、变配电设施、架设工具以及各项安全防护设施等制定的确保安全施工的措施。安全技术措施有针对性,切不可随意、简单、应付了事。现将施工现场临时用电的安全作法介绍如下: 相似文献
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