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该文研究了一种新型布喇格反射型薄膜体声波(BAW)滤波器的设计方法与制备技术。BAW器件选择机电耦合系数较大的Y43°-铌酸锂(Y43°-LN)单晶薄膜作为压电层材料,并以苯并环丁烯(BCB)作为晶圆键合层,采用离子注入剥离法将亚微米厚度的Y43°-LN单晶薄膜转移至具有布喇格反射层的衬底。BCB既作为键合层,也作为布喇格反射层的第一低声阻抗层,实现了单晶BAW滤波器的制备。设计并制备了三阶BAW滤波器,中心频率为2.93 GHz,绝对带宽和分数带宽分别为247 MHz和8.4%。结果表明,采用薄膜转移技术制备的高机电耦合系数LN单晶薄膜能够实现大带宽BAW滤波器的制备。 相似文献
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针对多型飞机弹射座椅电气附件功能和性能测试,传统人工检测效率低、时间长、强度大且易出错的难题,需要研制一台座椅电气自动综合检测设备。为了实现检测设备的自动化和可扩展要求,提出了一种基于640路信号切换模块、数字多用表和耐压绝缘仪的研制方案。利用水银继电器、串口通信模块和FPGA等研制了信号切换模块;综合运用虚拟仪器技术和数据库技术,设计开发了检测设备测试程序。测试验证结果表明,该检测设备实现了对多型座椅电气附件的快速准确的自动检测,同时具有扩展测试项目的功能,为检测座椅电气附件提供了先进的技术手段,提高了工作效率。 相似文献
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