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采用脉冲激光(PLD)和磁控溅射(MS)沉积技术制备了Mo薄膜,用扫描电镜(SEM)、白光干涉仪和X射线衍射仪(XRD)分别表征了薄膜的表面形貌和组织、表面粗糙度和薄膜密度。结果表明,PLD沉积的Mo的表面形貌受脉冲能量和基体温度的影响较大,能量越高、表面缺陷增多。MS沉积的Mo薄膜较致密,呈典型的柱状生长行为。PLD秽MS沉积的Mo薄膜的表面粗糙度均较好,R小于20nm。对实验结果进行了讨论。 相似文献
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吕学超 《中国新技术新产品》2015,(1):160
十一届三中全会上我国确立了社会主义市场经济体制,计划经济逐步退出市场,一方面为企业提供了更为广阔的发展空间,另一方面加剧了现代企业之间的竞争。而企业如果想在这种激烈的竞争当中立于不败之地,就必须跟上时代步伐,采用现代化的战略管理模式。就目前来说,我国一大部分企业并没有做好战略管理工作。笔者在文中论述了做好企业战略管理的重要意义,及现阶段我国现代企业战略管理中存在的问题,并根据问题提出了具有可行性、针对性的解决措施。 相似文献
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铀表面Ti/Al复合镀层中Ti膜表面氧化结构研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用电子能量损失谱(EELS)和俄歇电子能谱(AES)研究了铀表面磁控溅射离子镀Ti/Al复合镀层中Ti膜在6.5×10-6PaO2、150℃~400℃和0.05MPaO2、200℃~500℃环境中表面化学结构变化,并与块状金属Ti的行为进行了比较.结果表明,Ti膜表面结构随着氧化温度和氧分压而变化.在0.05MPaO2足氧气氛中,在200℃~500℃下氧化时,Ti膜与块状金属Ti表面形成的氧化物均为TiO2.在6.5×10-6PaO2环境中,在较高温度(400℃)下由于表面缺氧Ti膜表面仅形成TiO,在较低温度下(≤250℃)由于O的扩散速度降低,Ti膜逐步向TiO、Ti2O3、TiO2转变,最后在表面形成了TiO2.O在Ti膜中的扩散速度较块状金属Ti明显加快.结合热力学对Ti膜氧化物结构变化进行了讨论. 相似文献
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