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学科分类

工业技术

1篇

出版年

1999年

1篇

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纳米结构可重入STM/SEM超高真空多功能系统的研制 总被引：1，自引：1，他引：0

刘总顺李启珍高素菊刘其武袁殿平《电子显微学报》1999,18(1):148-150

扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）分辨率极高,是微观研究的重要仪器;但由于其视场小,样品易受污染等原因,在某些研究工作听应用受到了限制,扫描电子显微镜（ＳＥＭ）的最低放大倍数在十倍左右,视场可达２０ｍｍ＾２－３０ｍｍ＾２,可以引导扫描隧道显微镜进入试样预期的区域;另外超高真空的扫描电的样品室可以为扫描隧道显微镜提供清洁的工作环境,减少样品的污染。超高真空扫描电与扫描隧道显微镜的结合,可以弥补扫描隧道显微镜的相似文献