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针对小推力压电陶瓷的特性,提出了一种闭环微纳定位扫描系统设计。该系统以单片机80C196KC为核心,使用12位A/D转换器MAX120和12位D/A转换器DA7521做D/A转换,模拟驱动部分采用前置低压误差运放和后置高压精密运放组成双级放大模块;控制部分采用Fuzzy-PID复合控制算法进行非线性处理,很好地改善了压电陶瓷的迟滞、蠕变、非线性等不足,且提高了控制系统的精度。将本系统应用于白光相移干涉检测,实验结果表明:闭环电压控制的最大误差为18mV,置位重复精度为6nm,系统相对误差为0.15%;在位移量为10μm的时间一位移阶跃响应曲线中阶越响应时间约为20ms,且在电压为80V的蠕动曲线中,3min内的蠕变为3.6%,3min以后变化开始缓慢。 相似文献
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菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析 总被引:1,自引:0,他引:1
采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建.根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差.通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息.实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义. 相似文献
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光纤磁场传感器的磁场探头设计 总被引:2,自引:0,他引:2
光纤磁场传感器的探头是光纤磁场传感器中最关键的部分,它直接影响到传感器的测量精度。根据光纤传感器的测量要求和磁敏元件(磁光晶体:BiGd:YIG-Y3-x-yBixGdyFe3O12)的工作原理及特点,必须在光纤磁场传感器探头中产生线偏振光,同时为了在磁敏元件加入传感器探头后不至于增加固有损耗,故在探头两端使用了两个光纤准直器。介绍了在探头设计中,各部分的工作原理和结构特点。 相似文献
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固体中光声拉曼效应的理论分析 总被引:1,自引:1,他引:1
从非线性波动方程出发,运用准平衡模型以及热弹理论,对固体样品中光声拉曼效应进行理论分析,导出了脉冲激光泵浦下光声拉曼信号的解析表达式,并总结分析了固体中光声拉曼效应的一些原理特性、实验问题和应用价值。 相似文献
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针对信号处理中采用FIR数字滤波器对信号进行滤波后将产生相位延迟的现象,从FIR数字滤波器的相位特性出发,分析并推导了产生这种延迟现象的原因,得到了FIR数字滤波器的阶数和相位延迟的关系。采用基于波形匹配的数据扩展的方法对原始的信号进行端点延拓,再对延拓后的信号进行FIR滤波,可以很好地消除这种相位延迟的现象。Matlab仿真结果证明运用该方法滤波后的信号相位与原始信号相位一致,相位延迟被消除了。通过对信号的Simulink仿真实验及分析,也证实该方法可以有效消除FIR数字滤波器产生的相位延迟。 相似文献
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在45钢表面激光熔覆Ni基合金中添加适量的Y2O3,形成合金化层,对合金化层进行了表面硬度检测、金相观测以及X衍射相分析,探讨了Y2O3对45钢表面激光熔覆Ni基合金减少微裂纹的作用及其对合金产生的影响。 相似文献
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光纤连接器端面检测技术的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用一种显微干涉的光学检测系统,对光纤连接器的端面特性进行观测。在数据处理中,同时运用一阶导数的极值阈值方法和二阶导数过零来检测边缘点,然后采用最小二乘法进行数据拟合,来进行二维截面图的描述。从而检测端面的各种特性。 相似文献