宽波段的透射式GaAs光阴极

早先,我们曾报导过玻璃粘结的GaAs光阴极的工艺及性能。简言之,它的结构是:GaAs(基底)—AlGaAs—GaAs—AlGaAs—SiO_2—7056玻璃。半导体层以通常的液相外延形成。SiO_2以化学汽相沉积形成,它作为增透膜并防止与玻璃牯结的AlGaAs表面的氧化。     

与玻璃粘结的GaAs-AlGaAs透射式光阴极

在GaAs基底上已做出GaAs—GaAlAs—GaAs—GaAlAs异质结构,它与corning7056玻璃粘结,基底GaAs以及在基底GaAs上面的AlGaAs用化学方法腐蚀掉,腐蚀GaAs与AlGaAs的腐蚀剂分别为NH_4OH—H_2O_2与HF溶液。GaAs—AlGaAs玻璃结构具有特别好的形态、厚度均匀和透射式光电发射性能好的特点。