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1
1.
一种微型光开关的设计与仿真分析
总被引:1,自引:1,他引:0
李伟
梁静秋
李小奇
钟砚超
梁中翥
孙德贵
《光学学报》
2008,28(6):1151-1154
介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析.运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系.当输入电流为75 mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02 mm,能够满足器件转换光路的要求.
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