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1
1.
一种液相外延Ga1-xAlxAs的新方法
元金山
洪春荣
杜维江
王喜林
《发光学报》
1981,2(4):47-55
本文报道了一种新的Ga1-xAlxAs液相外延方法.靠控制降温速度,可以在外延表面3-4μ处得到
x
值均匀甚至沿生长方向有上升趋势的外延层.其外延表面光亮、缺陷少、无机械损伤.由于上述过程都是在单一外延层上完成的,所以利用此方法可以大幅度降低成本,提高成品率.制成的器件在If=20mA时.总光通量一般为3-6mlum.予计效率还会进一步提高.
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