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用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)研究了表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性,温度变化范围从室温到813K.结果表明,对未钝化的异质结,当测试温度高于523K时,Al0.22Ga0.78N势垒层开始出现应变弛豫;钝化后,在Al0.22Ga0.78N势垒层中会产生一个附加的平面拉伸应变,并随着温度的增加,势垒层中的平面拉伸应变会呈现出一个初始的增加,接着应变将减小,对100nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,应变只是轻微地减小,但对于50nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,则出现了严重的应变弛豫现象. 相似文献
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用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)研究了表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/ GaN异质结势垒层应变的高温特性,温度变化范围从室温到813K.结果表明,对未钝化的异质 结,当测试温度高于523K时,Al0.22Ga0.78N势垒层开始出现应变 弛豫;钝化后,在Al0.22Ga0.78N势垒层中会产生一个附加的平面 拉伸应变,并随着温度的增加,势垒层中的平面拉伸应变会呈现出一个初始的增加,接着应 变将减小,对100nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,应变只是轻微地减 小,但对于50nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,则出现了严重的应变 弛豫现象.
关键词:
0.22Ga0.78N/GaN异质结')" href="#">Al0.22Ga0.78N/GaN异质结
应变
3 N4钝化')" href="#">Si3 N4钝化
高温XRD 相似文献
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