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曝光剂量精度是光刻工艺中重要的控制参数,从剂量控制模型出发,分析了影响剂量精度的因素并建立误差模型,进一步将需求指标分解到各误差项,作为剂量控制系统的设计输入;通过试验测试剂量精度和重复精度满足设计需求,验证了剂量误差模型的准确性。 相似文献
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采用紫外辐射固化-水溶液聚合法制备玉米秸秆纤维素-腐植酸基复合型吸水树脂(UV-Cs-HA-PAA),可以改善吸水性树脂的性能。以吸水率为主要指标,探究光引发剂用量、光照强度、光照时间对复合型吸水树脂吸水吸盐效果的影响,结果表明,在光引发剂用量为1∶0.4、光照强度900 W、固化时间2.5 h的紫外辐射固化条件下制备的吸水树脂性能明显提高,吸水率可达845.78 g/g,与改性之前相比,室温下4 h的保水率从83.98%提高至86.25%,第7次重复吸水率高达156.81g/g, pH=3和pH=12的条件下吸水率分别高41.82和119.73 g/g,在不同浓度NaCl溶液中耐盐性也更优,平均维氏硬度大6.58。利用红外光谱、扫描电镜、比表面积分析、热重分析对树脂的性能变化进行了表征,结果表明,经过紫外光对原材料改性后,为树脂引入了较多刚性结构,且使树脂比表面积和热稳定性均增大。在一定程度上提高了树脂的适用范围。 相似文献
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在有些阀门制造中,需事先组装后再整体安装,且需要翻身竖立.由于组装后的阀门形状不规则,整体重心位于两个整体吊装吊点以上,吊装状态不稳定,危险系数较大.经过仔细分析阀门特点,结合场地资源和现场情况,最终利用多种吊索具配合顺利安全吊装,为类似阀门吊装积累了宝贵经验. 相似文献
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不同的曝光方式适应不同的曝光工艺,对接触接近式曝光机的曝光方式进行了研究,分析了不同曝光方式适用的场合。并给出了一个通过改进曝光方式实现曝光工艺的成功实例,进一步证明了将产品生产工艺知识融入到半导体设备设计研发过程中的必要性。 相似文献
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针对生态脆弱型人地系统模式研究中存在的数据处理繁杂、模式识别偏主观、内在机理复杂等问题,提出了基于云平台及大数据方法的模式分析框架。通过遥感及社会经济云平台实现数据的云上收集及处理,利用自组织映射神经网络聚类(Self-Organizing Map,SOM)方法实现无先验知识的模式识别;同时利用知觉图从社会经济发展与生态友好性两个角度分析变化轨迹,利用关联规则方法筛选社会经济与生态环境之间的潜在规律。以“一带一路”65国进行实验分析,实验结果将“一带一路”65个国家有效划分为10类模式,并分析了10类模式的变化轨迹及关系规律。结果表明:该分析框架能够快速实现数据获取及处理、人地系统多模式识别、变化轨迹可视化和规律探测等功能,有效弥补了人地系统多模式研究中的不足。 相似文献
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