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针对不合腐蚀抑制剂苯并三氮唑(BTA)的碱性铜粗抛液,通过对3英寸(1英寸=2.54 cm)铜片上的动态抛光速率和静态腐蚀速率的研究来模拟评估氧化剂对晶圆表面平坦化的影响.在12英寸铜镀膜片和TM1图形片上分别研究氧化剂体积分数对表面平坦化的影响.实验结果表明:动态抛光速率和静态腐蚀速率均随着氧化剂体积分数的增加先逐渐增大,达到最大值,然后下降,趋于平缓.片内非均匀性和剩余高低差均随H2O2体积分数的增加,先呈下降趋势,后缓慢上升.当氧化剂体积分数为3%时,动态去除速率(vRR)为398.988 nm/min,静态腐蚀速率vER为6.834 nm/min,vRR/vER比值最大,片内非均匀性最小为3.82%,台阶高低差最小为104.6 nm/min,此时晶圆片有较好的平坦化效果. 相似文献
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目的 建立电感耦合等离子体质谱法(inductively coupled plasma mass spectrometry,ICP-MS)同时测定贵州芸豆主产地28份芸豆样品中Na、Mg、P、Ca、Cr、Mn、Fe、Cu、Zn、As、Cd、Hg、Pb 13种元素的定量分析方法.方法 采用主成分分析和聚类分析方法分析贵州... 相似文献
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Thermo-responsive multiblock polycarbonates were facilely synthesized by covalently binding poly(ethylene glycol)(PEG) and poly(propylene glycol)(PPG) blocks,using triphosgene as coupling agent and pyridine as catalyst.The aqueous solutions of thermo-responsive polycarbonates were investigated by rheological measurements.Steady-state shear measurements reveal that the polycarbonate solutions exhibit shear-thinning behavior and the hydrophilic content has a pronounced effect on the flow behavior of the polycarbonates aqueous solutions.The shear viscosity decreases with increasing poly(ethylene oxide)(PEO) composition.The increase of viscosity with increasing concentration is probably attributed to the formation of stronger network owing to interchain entanglement of PEO block at higher concentration.When the flow curves are fitted to the power law model,flow index is obtained to be less than 1,as exhibiting typical pesudoplastic fluid.The viscoelastic properties of the system also show close dependence on the composition of polycarbonates.Temperature sweep confirms that the multiblock polycarbonates exhibit thermo-responsive properties.For 7% aqueous solution of polycarbonate with composition ratio of EO to PO of 1/1,the sol-gel transition occurs at 37 ℃,which makes the system suitable as an injectable drug delivery system. 相似文献
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美国环境保护协会 (EPA)要求到 2 0 0 9年 ,所有的汽车和 6吨以上的卡车的尾气排放达到 0 .0 44g/km(0 .0 7g/mile)的标准。因此EPA决定将汽柴油的硫含量进一步降低到 30 μg/g和 15 μg/g。有数百种含硫化合物存在于原油中 ,如硫醇、硫醚、二硫醚、噻吩等。柴油馏分中的二苯并噻吩 (DBT)是稳定结构 ,难以在HDS中脱除。为了将柴油硫含量降低到 10 μg/g ,HDS必须提高反应压力 ,降低空速 ,结果操作费用会大幅提高。选择性氧化脱硫在化学领域早已工业应用 ,DBT的氧化反应具有代表性。传统的氧化脱硫的脱硫率… 相似文献
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本篇介绍的是加州威明顿油田的酸性原油与氢氧化钠、原硅酸钠溶液所形成的液研究结果,和测定的碱性的配方对乳化液特性的影响。 相似文献
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煤炭液化生产液体燃料油是替代石油的重要能源之一。介绍了煤的直接液化方法和间接液化方法 生产燃料油产品的几种工艺技术,通过对比,提出了开发高效催化剂是提高煤液化油收率,降低生产成本 的发展方向。 相似文献
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