微波放电等离子体源的研究

利用电子迴旋共振(ECR)的原理,在10-310-1Pa的低压强下,已成功地产生了高活性,高密度的微波等离子体。运用静电探针装置,研究了N2、Ar放电中微波功率、气体压强对等离子体参量的影响,并对放电等离子体进行了质谱分析。     

微波放电的四极质谱初探

随着大规模集成电路技术的飞速发展,强磁场微波放电形成等离子体的方法已广泛应用于刻蚀技术中。近年来,又进一步应用于cVD薄膜形成,离子注入的离子源与反应离子束刻蚀的离子源中。     

太阳能热离子发电

一、什么是太阳能热离子发电? 利用热离子能量转换器将聚集的太阳能直接转换成电能的发电方式称为太阳能热离子发电。热离子能量转换器(简称TEC)是五十年代才开始发展起来的一种新型电子器件。它的最简单的模型如同一个真空二极管(电子管),其结构如图1所示。不同的是:它的收集极的逸出功比发射极的逸出功低;极间距离很小,约为0.01—1毫米;管内要先抽     

"日有用得热量"测试探讨

目前在我国太阳热水系统市场上，水在玻璃管内的直插紧凑式仍然占据着主导地位，原因是它采用自然循环方式，结构简单，造价便宜，深受广大用户欢迎。对于这类全玻璃真空管家用太阳热水系统，在2003年10月1日国家质监总局发布的国标GB／T 19141-2003《家用太阳热水系统技术条件》中，规定了一个检验其热性能时的首选判定指标，这个指标合格后方可做进一步的全面检测。这个判定指标有3条：     

微波等离子体刻蚀应用研究

近年来,随着大规模集成电路的发展,微波强磁场产生等离子体的方法已开始应用于微细加工技术领域。本文介绍微波等离子体刻蚀应用的实验结果。