排序方式: 共有14条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1.
为了提高微驱动器的性能,提出了一种在氧化铟锡(ITO)玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法.在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620正光胶,用常规的接触式曝光法,将光刻掩模上的二维图形转移到AZ-4620光胶层上,显影后利用ITO玻璃的导电性,在AZ-4620光胶曝光处电沉积镍,原掩膜图形可保真地转移到ITO玻璃表面的镍镀层上,使紫外光透过ITO玻璃基底进行反面曝光,从而保证了光刻掩模与SU-8光胶层间的完全接触,消除了厚光胶层表面不平在曝光时的散射和基片材料的反射影响,成功制备了深宽比为16、侧壁垂直度为89.5°的微结构.本方法使用设备简单,加工成本低. 相似文献
2.
3.
随着国家城市化建设的快速推进,地铁车辆开始在越来越多的城市投入使用,以满足人们出行需求。轨道交通车辆在近些年来在我国呈现快速发展的势头,人们对于车辆的要求也越来越高,尤其对于车辆的舒适性、安全性。本文基于提高车辆布线稳定安全性能考虑,对铝合金车辆的车下布线方法提出探究。利用铝合金地铁车辆的车体型腔,对线缆进行防护,将不同将不同种类的线缆规划至不同的型腔,提高车下布线电磁屏蔽性能,减少车下线管、线槽数量,缩短车下线缆走线距离。 相似文献
4.
5.
6.
7.
8.
针对目前建筑施工中广泛使用的螺杆桩机控制系统中的变频器进行探讨,从螺杆桩成桩原理出发,分析直流调速器和交流变频器的选择方法、适用环境及优缺点。 相似文献
9.
10.