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曝光剂量精度是光刻工艺中重要的控制参数,从剂量控制模型出发,分析了影响剂量精度的因素并建立误差模型,进一步将需求指标分解到各误差项,作为剂量控制系统的设计输入;通过试验测试剂量精度和重复精度满足设计需求,验证了剂量误差模型的准确性。 相似文献
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论述了紫外激光加工原理,分析了其优缺点.并使用紫外脉冲激光对LTCC生瓷片、蓝宝石晶圆片、太阳能单晶硅片等材料进行了初步的激光划切工艺实验,得到了对这些不同材料加工的一些工艺参数. 相似文献
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高爱梅 《电子工业专用设备》2008,37(5):31-34
引线键合机是半导体后封装设备中的关键技术产品,LED芯片和引脚的高度差较大,表面反光特性不同,一组镜头和光源很难获得清晰的图像,为了满足图像识别的需要,设计了一种适用于LED全自动引线键合机的双光路成像系统。识别芯片和引脚时通过一个电子切换装置自动切换到不同倍率,并配合光源的变化,大大提高了视觉系统的精确性。 相似文献
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激光划切机的光束传递系统设计 总被引:1,自引:0,他引:1
针对LTCC激光划切机的光束传递系统,介绍了355 nm固体激光的扩束、聚焦原理、系统装调与精密调焦方法.该方法适用于激光加工设备的激光光束传递系统搭建,简单实用. 相似文献
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对钙钛矿型Rh/BaZrO3/γAl2O3催化剂进行了NOx储存量(NSC)及NO氧化-还原性能的测试.结果表明,在400℃无还原剂C3H6贫燃条件下,Rh/BaZrO3/γ-Al2O3的NSC比300℃时高41.2%,这表明NO在较高温度时氧化速率增加.而在含C3H6情况下,无论是在400℃或300℃,NSC值均有所下降,这表明此时C3H6与NOx之间存在竞争氧化.在贫燃-富燃循环中,Rh/BaZrO3/γ-Al2O3的NSC几乎不变,这表明该催化剂对NO具有很好的氧化-还原循环性能.当在循环过程中混入0.01%SO2,对该催化剂的氧化-还原能力几乎无影响,这说明Rh/BaZrO3/γ-Al2O3催化剂还具有较强的抗硫性能. 相似文献