微电子机械系统在生物医学领域中的应用

本文介绍了国际上微电子机械系统研究的状况以及发展趋势;阐述了目前微电子机械系统在生物医学中的应用和研究开发的方向;并详细地介绍了日本在微小血管检测系统方面所作的研究工作;最后提出了应用于医疗领域中的微电子机械系统的发展前景.     

用离子束辅助沉积和计算机控制系统制备纳米薄膜复合材料

研制成功了一台计算机控制系统,用来改进用于纳米复合薄膜制备的离子束辅助沉积技术。计算机、石英晶体振荡器和模糊控制器使系统可以准确地调节沉积速率,提高生产效率,确保各种纳米复合薄膜如多层和纳米晶薄膜的质量。     

管道微机器人中压电执行器的研究

微执行器作为微机械系统的核心单元,一直是微机械发展关键。文章介绍了一种应用于管道微机器人的足式压电执行器。在交变电压作用下,该压电执行器将压电体的弯曲振动转化成其弹性足沿管壁的移动,从而实现执行器的运动。在分析其工作原理的基础上,研制了压电微执行器的驱动电源,并进行了简单的实验研究。研究表明该执行器具有结构简单,易于微型化,响应快,驱动方便等特点。     

微电子机械系统在通信领域的应用

本文评述了微电子机械系统技术在通信领域中的潜在影响,预计这项技术将引发微通信卫星、光通信系统制造方法和使用方式的变革,同时还大大降低其成本。随着微机械技术的日渐成熟,它将给通信领域带来新的发展。     

微电子机械系统在通信领域的应用

本文评述了微电子机械系统技术在通信领域中的潜在影响，预计这项技术将引发微通信卫星，光通信系统制造方法和使用方式的变革，同时还大大降低其成本，随着微机械技术的日渐成熟，它将给通信领域带来新的发展。     

行波式压电微电机的等效电路特性

本文通过对行波式压电微电机原理性的分析,并结合质点运动学基础理论,研究了压电微电机换能理论,建立了电机等效电路.该方法将为深入研究压电微电机的力矩、功率、以及效率提供有力的理论基础.     

微电子机械工程

在过去的35年中,电子技术发展十分迅猛.电子工业正凭借它的优势,从每18个月使一个微芯片上半导体管数翻一番的速度运行着,并引起了电子工业的革命.在一个邮票大小的范围内制造出数百万个微单元器件已引起手提电话和个人计算机等制造领域的极大兴趣.利用微电子材料和工艺,可构造出微梁、槽、齿轮、薄膜以及电机,微电机能用来驱动原子以及打开或关闭激励微流量液体的微阀.这些机械元件的大小要用微米来计算.并且象半导体工业一样,一次能制造出数百万个元件.     

刮削硬齿面齿轮表面粗糙度的研究

对淬硬齿轮刮削后表面粗糙度进行了深入的研究。从理论和试验中分析了产生粗糙度的原因及影响它的相关因素,并在试验的基础上建立了刮削齿面粗糙度的经验公式。     

硬质合金刮削滚刀刀刃强度的有限元计算

借助有限元方法对硬质合金刮削滚刀刀刃的应力、应变分布值进行了计算,并以此为依据来判别其抗崩刃的原因。定量地分析出硬质合金凸曲面刮削滚刀在刮削硬齿面齿轮时,造成的机械应力小于平前刀面滚刀切削时侧刃的机械应力,表明该种新型滚刀的设计具有优优性,为其应用和推广提供了理论依据。     

用周期PN序列测量配电网信道传输特性

分析了用周期PN序列在时域测量配电网信道传输特性的方法，该方法能快速获得信道在宽频域的传输函数，同时指明平均和时域加窗在数据处理中的作用，并对误差来源进行分析，最后用实验对该方法进行验证。