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高阳邹传平张德勤杨超 《微纳电子技术》2016,(9):616-622
提出了一种可行的制备超疏水跨尺度微纳结构的方法,该方法基于衍射干涉光刻技术,制备出拥有跨尺度的光刻胶结构阵列。建立衍射干涉光刻模型,采用严格耦合波分析(RCWA)方法对衍射干涉形成的光强分布进行理论分析;通过衍射干涉光刻技术制备出跨尺度微纳光刻胶阵列。最后用ICP-Bosch干法刻蚀工艺,将跨尺度光刻胶结构转移到硅基底上,制备出高深宽比硅管状结构,其顶部是跨尺度微纳锥形结构,利用接触角测量仪对制备的样品表面的浸润性能进行了测试,测试结果表明该跨尺度微纳结构达到超疏水性能。 相似文献
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以柴油机连杆套筒磨损为例,建立了用于磨损状况诊断的隐式半马尔科夫模型(HSMM).将连杆套筒的健康状况分为5级,利用该模型进行故障的监测.试验和仿真结果表明:HSMM模型能较准确地判断出各个不同时期连杆套筒的健康状态,从而正确指导操作者对其进行及时的维护或修理,保证柴油机良好运转. 相似文献
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