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由上海第二光学仪器厂试制的 FB-1型精密接触式翻版机已通过鉴定。用于半导体集成电路光刻掩模版的复制。该机达到了设计要求,性能稳定可靠,对国内外各种超微粒干版和光刻胶有广泛的适应性。可复制各种规格的铬版、超微粒干版。在分辨率、光源照度均匀性以及操作程序控制方面的拔术指标达到日本 DS-P-210型接触式翻版机的水平,能满足国内大 相似文献
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耿瑞成 《仪表技术与传感器》1982,(1)
陕西机械学院工厂在有关研究所协助下,研制成功TDR—60型自动控径大直径单晶炉,于1981年9月21日在西安召开了鉴定会。参加会议的有国家科委、国家仪器仪表工业总局、一机部、四机部十四院、冶金部有色院等四十三个单位的代表。该单晶炉的 相似文献
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耿瑞成 《仪表技术与传感器》1981,(4)
陕西机械学院工厂在有关研究所协作下,研制成功JDL—40型自动控径激光单晶炉。生长出的铝酸钇(YAP)和钇铝石榴石(YAG)激光晶体,具有输出灵敏度高、线性度好、工作稳定等优点。生长出直径为20mm,长度大于150mm的透明晶体棒料, 相似文献
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