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用射频磁控反应溅射法 (RS)制备出 Gex C1-x薄膜 ,其折射率可以在 1 .7~ 4.0之间变化。设计出单层 Gex C1-x非均匀增透保护膜和含有 Gex C1-x非均匀膜的多层增透保护膜系 ,并在 Zn S基片上制备出 Gex C1-x单层非均匀增透保护膜。设计和实验结果表明 ,Zn S衬底上制备的非均匀膜实现了宽波段的增透 ,在 5 0 0 0~ 85 0 cm-1波数范围内 ,平均透过率从 6 7.1 9%提高到 78.70 % ,比未镀膜净增加 1 1 .5 1 %。 相似文献
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靶材溅射及溅射原子输运的计算机模拟 总被引:1,自引:0,他引:1
用软件SRIM及蒙特卡罗法综合模拟了靶材溅射及溅射原子输运的过程。模拟结果包括溅射原子输运到衬底时的能量、入射角和入射位置。由模拟结果知,溅射原子输运主要受P×d影响(P为真空室气压,d为靶基距),P×d愈大输运到衬底的溅射原子愈少,且能量愈小;溅射原子到达衬底时,能量集中在几电子伏范围内,且在能量很低的区域有分布峰;角度分布主要集中在垂直方向,这与从靶面出射时的分布相似,但垂直方向的分布有所减小;位置分布与从靶面出射时相比,分布范围在径向扩大、趋于均匀化,但主要在靶直径范围内。 相似文献
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EffectofImpuritiesandCeontheAnisotropicBehaviorof8090AlloySheet¥MengLiang;GengDongsheng;ZhengXiulin(DepartmentofMaterialScien... 相似文献
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通过热力学计算和动力学分析,研究了热丝CVD金刚石薄膜沉积过程中,氢原子对石墨相和金刚石相的侵蚀作用。结果表明;当衬底温度在823K-1273K间变化时,氢原子和石墨相反应的表观活化能小于氢原子和金刚石相反应的表观活化能,这是氢原子更易侵蚀石墨相的原因所在。 相似文献
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介绍了农村集体建设用地及其使用权流转的概念,分析了农村集体建设用地流转的动因和方向,从产权角度提出对农村集体建设用地流转的建议。 相似文献
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以甲烷和氢气为气源,用热丝CVD法,在WC-6%Co的硬质合金基体上沉积金刚石薄膜。研究了基体表面经抛光、腐蚀、脱碳及镀中间层等不同的预处理对金刚石薄膜与基体的随着性的影响。试验结果表明:基体表面经抛光、腐蚀再经脱碳或镀TiN中间层,可改善和提高随着性,金刚石薄膜的形核率沉积速率有所降低;基体表面只经抛光、腐蚀预处理,金刚石薄膜的形核率和沉积速率较高,结晶性好,但随着性较差;采用分段沉积,可以提高 相似文献
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用热丝 CVD法 ,以甲烷、氮气和氢气为气源 ,在 Si( 1 1 1 )衬底上沉积了C- N薄膜。用 X射线光电子谱 ( xps)、喇曼光谱 ( RS)、X射线衍射 ( XRD)和扫描电镜( SEM) ,对 C- N薄膜的结构及生长速率进行了分析研究。结果表明 :C- N薄膜的结构为非晶态 ,同时含有金刚石和石墨相 ;氮以三种不同的化学键合状态存在于膜中 ,其中 β键合状态的结合能与晶态 β- C3N4的结合能接近 ;随混合气体中氮气含量增加 ,C- N薄膜的生长速率减小。 相似文献
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研究了稀上元素对1420铝锂合金在不同时效状态下的力学性能和显微组织的影响,并与不含稀土元素的1420合金进行了比较。结果表明:添加微量稀土元素可以阻碍合金的再结晶,细化再结晶晶粒,并促进δ'相在时效过程中的弥散析出。采用465℃固溶,2%预拉伸变形后经170℃,2~6h时效,可使含微量稀土元素的1420合金获得较好的强度塑性。 相似文献