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等离子体的状态的变化特征,特别是在双频情况下,是PECVD工艺设备的一项重要指标,这促使人们用不同的方法对它们进行研究。本文使用CFD-ACE 商业软件建立了二维流体模型对N2等离子体进行仿真。首先在高频13.56MHz,高频电压300V,低频电压0V的条件下描述了等离子体,特别是在鞘层部位的电势、电子数量密度、氮自由基和电子温度,分布的基本特征。在此基础上,讨论了高频电压分别是200V,300V,400V时及低频0.3MHz,低频电压分别是500V,600V,700V时对等离子体密度的影响。结论表明,在电极表面形成了约3mm厚的鞘层,在鞘层内电势和电子温度随时间和空间变化较大,而在非鞘层区域内电势跟随电极电压的变化而变化,但几乎不随空间变化,电子温度也只在很小的范围内变化。氮自由基的数量密度也受射频电压的调制,但相对变化很小。等离子体密度仅在鞘层区域内随时间发生变化,所以通过比较主等离子体区参数可以看出,等离子体的密度随着高频电压升高,随低频电压的升高略有下降,同时x方向和y方向的均匀性将会发生变化。因此,在其他条件不变的情况下需要选择合适的高低频电压来获得高密度和均匀性均合乎要求的等离子体。 相似文献
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单根纵向受载变形梁与线性螺旋弹簧并联使用,提出一种可实现恒力输出的新型末端执行机构。分别建立了单根受载变形梁和恒力末端执行机构的力学模型。利用解析方法参数化分析了单根受载变形梁设计参数和线性螺旋弹簧预载荷对恒力末端执行机构输出力学特性的影响。考虑恒力末端执行机构在未知环境精细操作过程中冲击载荷的影响,假设受到典型半正弦冲击载荷作用,利用四阶龙格-库塔法对恒力末端执行机构动力学方程进行求解。计算结果表明:单根受载变形梁的纵向预压缩量、自由长度和线性螺旋弹簧预载荷可调整恒力机构的输出力幅值和有效恒力范围;冲击脉冲持续时间长度和系统阻尼可影响恒力末端执行机构输出动态力的幅值和衰减时间。 相似文献
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航天器结构发展趋势及其对材料的需求 总被引:1,自引:0,他引:1
航天器结构是航天器的重要组成部分和基础,是在各种力学环境和空间环境下,为航天器及其各分系统提供支撑、承受和传递载荷,并保持一定刚度和尺寸稳定性的部件和附件的总称。其中,附件是指在空间伸展在卫星本体之外的大型结构件,或星体内大型设备的主承力部分,如太阳翼、天线、相机支架和镜筒等。航天器结构在 相似文献
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负载对星型齿轮传动动态特性的影响分析 总被引:2,自引:0,他引:2
建立了受传递误差和时变啮合刚度激励的星型齿轮传动的间隙型多自由度非线性动力学模型 ,并用自适应变步长 Gill数值方法进行了求解。结合 Poincaré映射和相平面研究了系统在不同外载荷情况下的各类稳态响应及其动力学分岔特性。通过分析各齿轮副的动载荷系数变化规律讨论了各齿轮副啮合状态在非冲击、单边冲击以及双边冲击状态之间的转化过程和外载荷的关系。发现系统的非谐响应在很大程度上依赖外载荷的大小 ,轻载下星型齿轮传动系统易于出现脱啮、齿背冲击和载荷不均匀现象 ,从而会导致较大的动载荷和混沌噪声。 相似文献
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环保料场较传统露天料场在降耗、减排、节能、节省用地、稳定生产等方面有明显的优势,是当前原料场技术发展的必然趋势。但现有环保料场内部空间利用率低,资源浪费严重,工程一次投资高,制约了环保料场的推广与应用。针对现有环保料场内部空间利用率低的问题进行系统描述,运用TRIZ理论分别进行系统功能分析和系统问题分析,求解得到一系列方案,并通过对比确定了最优方案。该方案采用刮板取料机半门型架上跨卸料小车的布置型式,刮板取料机走行梁不再需要单独设置,上部走行机构检修维护更为方便,解决了刮板取料机走行梁限制物料堆高的问题,提高了料场内部空间利用率,增大了料场贮量,降低了土建工程量,经济效益显著。 相似文献
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多功能结构是航天产品前沿技术。本文首先介绍多功能结构的概念 ,然后讨论多功能结构的支撑技术 ,包括理想材料的分析、设计方法、理想材料零件的设计和制造方法、微电子元件的构型优化以及多功能结构设计方法。针对多功能结构设计 ,提出功能驱动的设计框架 ,及基于博弈论的设计方程 ,并给出一个建立设计方程的实例 相似文献