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菲佐激光干涉仪使用的标准球面镜头通常只能在特定波长下使用.提出了一种通过调整镜头内部透镜间隔来改变其工作波长的方法,利用该方法设计了两款可变波长标准球面镜头,口径为19.05 mm,镜头光圈系数分别为5.6和8.镜头在各目标波长下的参考波前质量均满足设计要求,并分析了公差容限以确保镜头具有可实际加工性.根据可变波长标准... 相似文献
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基于Ai C和Wyant J C的奇偶函数法,提出了4步旋转绝对检测方法,减少了旋转次数,将第二次测量的旋转角度选为90°。实验基于HOOL L9600A-HS3干涉仪,采用4步旋转绝对检测方法,将3个平面两两互检计算出3个平面的绝对面形。其中平面C的表面面形起伏高度均方根(RMS)值和峰谷(PV)值分别为3.460 nm和35.227 nm,经闭环自检后的测量结果分别为3.783 nm和34.305 nm以及3.669 nm和34.252 nm,数据基本一致,表明测量数据能够实现闭环自检。使用该方法对中国计量科学研究院的标准平面镜进行测量, 平面的RMS值和峰谷PV值分别为2.400 nm和19.600 nm,与该院的测量结果2.000 nm和16.000 nm对比,两者的测量偏差在nm量级,充分证明了实验的有效性及高重复性;此外实验还分析了温度对测量结果的影响。 相似文献
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针对使用点光源的激光干涉仪在测量中容易出现相干噪声的问题,阐述了环形光源抑制相干噪声的原理,分析了环形光源半径及厚度与条纹可见度之间的关系,提出一种基于环形透镜产生环形光源的光学系统.该系统包括扩束系统、环形透镜和双远心镜头,根据菲索干涉仪中的准直镜头和干涉腔长得到环形光源的目标参数.使用Zemax分别设计了环形光源系... 相似文献
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分析了自动售货机的传热性能 .引入等效导热系数来表述柜体平壁层的传热 ,并给出了平壁层厚度和自动售货机、制冷系统负荷的计算公式 ,为自动售货机的设计提供了理论依据 . 相似文献
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