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通过微电子机械技术(MEMS)在抛光的熔融石英基材表面制作了平面精度达到0.4μm的超大单片面积的全息透镜。采用了分辨率达到0.2μm的步进投影式拼接光刻,适合石英基材的专用等离子耦合刻蚀(ICP)干法刻蚀技术,特殊的物理清洗方法,以及相关的多项辅助工艺。透镜理想面形横截面曲线为分段抛物线,每一片由23个柱状结构单元周期横向排列构成,采用等深度不等宽度的4台阶结构拟合,单元宽度约为2.966mm。在4in(10.16cm)圆片上,获得了单片尺寸为68mm×68mm的方形透镜。采用接触式台阶仪,扫描电子显微镜(SEM),高倍光学显微镜等方法进行不同阶段检测。结果显示:台阶平面精度为0.4μm,垂直精度为30nm,有非常好的立墙陡直度和刻蚀均匀性。此工艺方案可实现小规模批量生产,成本适中,可以直接用于制作6in(15.24cm)以上同等级要求的石英透镜,经适当改进也可用于蓝宝石等基底材料的制作。 相似文献
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梁济运河是京杭大运河的一部分,上接黄河,下连南四湖,流经济宁市6个县区,全长87.8km,流域面积3306km2,是山东省大型河道之一,也是国家南水北调东线工程输水干线和黄河下游防洪设施的重要组成部分及北煤南运的黄金水道,防洪、除涝、引黄、灌溉、航运综合效益十分显著。济宁市梁济运河管理处现有在职干部职工196人,处机关设10个科室,下设5个堤防(水闸)管理所和工程养护服务中心,全面负责梁济运河的安全运行管理工作。一、以改革创新为动力,建立精简 相似文献
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梁济运河系京杭运河梁山至济宁段,全长87.8km,流域面积3306km2,是一条具有防洪、除涝、引黄、灌溉、航运等综合功能的大型河道,也是南水北调东线工程输水干线和黄河下游防洪设施的重要组成部分及北煤南运的黄金水道。济宁市梁济运河引黄补南工程管理处坚持以科学发展观为指导,以水法规政策为支撑,立足资源优势,深化体制改革,依靠政策抓管理,依靠改革谋发展,依靠机制抓创新,依靠资源搞创收,各项工作呈现出勃勃生机,先后被命名为全国水利管理先进集体、全省水利工程管理先进集体、全省水政工作先进单位、全省水利系统文明单位等;连续多年被评… 相似文献
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Reinvestigation of the high spin states in ^(161)Er and enhanced E1 transitions in the N=93 isotones
陈亮 周小红 张玉虎 柳敏良 王世陶 方永得 滑伟 强赟华 李广顺 周厚兵 丁兵 王海霞 郑勇 竺礼华 吴晓光 《Canadian Metallurgical Quarterly》2011,35(6)
High-spin states in 161Er have been studied experimentally using the 150Nd(16O, 5n) reaction at a beam energy of 86 MeV. The relatively enhanced E1 transitions between the 5/2+[642] and 3/2-[521] bands are observed in 161Er, and the B(E1) values are extra 相似文献
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外墙外保温节能工程施工建设过程中,现场监理人员应当做好自己的本职工作,熟悉建筑设计方案、技术要求以及各种规范性文件之要求。作为工程监理人员,在对建筑外墙外保温工程施工监理过程中,应当做到及时发现问题,及时解决问题,坚持施工质量与施工进度并重的原则,对施工全过程中加强监管。本文将对施工前、施工中的主要监理事项进行分析研究,并在此基础上提出一些建设性建议,以供参考。 相似文献
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针对单通道数据接收卡无法完成同时接收多路数据问题,在单通道数据接收卡设计理念基础上设计了一种三通道的数据接收卡,主要硬件逻辑采用FPGA、双端口RAM和PCI9054桥接芯片的组成,对三通道数据接收卡的工作原理进行了简单介绍,详细说明了FPGA主控器的设计过程.基于三通道数据接收卡的硬件组成,提出了在PCI局部总线与PCI总线进行数据交互时采用DMA和突发数据结合的传输方法,解决了计算机用少量的PCI插槽无法实现接收多路同步数据的问题,可保证数据传输的实时性及完整性,有效提高了高速数据传输时对PCI总线的利用率. 相似文献
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近几年,济宁市梁济运河管理处把多种经营作为增强发展后劲和改革的重点来抓,充分发挥自身优势,因地制宜,不断强化内部管理,大力优化产业结构,构建了以"资源开发、参股经营、工业供水、水利施工、工程绿化"为重点的五种经营类型,取得了显著成效。 相似文献
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