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1篇
学科分类
工业技术
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出版年
2021年
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1.
化学机械磨削技术研究现状与展望
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任莹晖
周家恒
李伟
周志雄
李陈方
《中国机械工程》
2021,32(18):2143-2152
化学机械磨削能通过化学机械协同过程实现单晶硅、石英玻璃等硬脆材料的超精密高质低损加工,被广泛应用于半导体以及光学等领域器件的平坦化加工.在综述化学机械磨削技术材料去除机理、磨削工艺以及复合加工工艺等方面研究现状的基础上,对上述研究现阶段存在的问题进行了分析讨论.分析表明,从固固相化学反应机制和化学机械协同效应角度揭示化...
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