排序方式: 共有4条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
本文介绍显微标尺测量装置的基本原理及其光学机械结构。该装置最小可测线条宽度为0.6μm、线间距为1.2μm,量程为2mm,分辨率为0.01μm,测量不确定度为±0.1μm。该装置还可以测量高精度计量光栅及激光光盘等透明基体上刻线的间距和线宽值。 相似文献
2.
4.
1