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石英晶体精密研磨技术的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
通过实验,着重讨论了石英晶体的研磨机理及研磨速度,研磨压力和磨粒粒径对试件表面质量和研磨效率的影响,并确定了合理的精密研磨参数选用范围,实验采用修正环型环磨机,加工出表面粗糙度Ramax0.7μm的石英晶体表面,为实现石英晶体的超精密抛光准备了必要的条件。 相似文献
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