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i-line光刻高均匀照明系统光能分布的计算模拟 总被引:5,自引:0,他引:5
叙述了i-line光刻高均匀照明系统的均匀照明原理,以及其具有特殊面形(非球面)、特殊结构(非共轴)、超光学表面(由多个非共轴光学表面组成)的光学系统的光能分布计算模拟的原理、方法。作为例子,用所编写的程序计算模拟了我们近来设计的一曝光系统几个重要光学表面上具有权重的点列图和光能分布曲线。 相似文献
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针对传统的二次非球面折射型激光扩束器存在不易加工、装调困难、体积大、重量大,特别是难以获得高填充比阵列透镜等不足,提出了一种利用衍射型台阶化面型近似二次非球面的激光扩束器方案,结果表明:对于典型的束腰半径为2mm的高斯光束,衍射型激光扩束器可实现2.8倍的理论扩束比。为了保持扩束过程中激光模式的稳定性,提出了不同区域给定不同台阶数的两类复合结构,解决了扩束过程中保真度和二元衍射元件加工特征尺寸无法同时满足的问题,改进后的系统保真度达95.82%,各区域最小光刻线宽均大于2μm,能够满足现有光刻加工技术要求。对影响系统保真度主要误差的分析结果表明:离轴误差在-1~1mm,目镜和物镜倾斜误差分别小于0.1mm和1.68mm时,系统保真度仍大于95%,方便装调。 相似文献
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衍射微透镜阵列用于面阵半导体激光光束匀化 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种用衍射微透镜阵列对面阵半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列,推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了非成像型微透镜阵列光束匀化系统,并对其进行了实验验证。当衍射微透镜的口径为0.125mm,相对孔径为0.1,相位台阶数为8时,测得焦斑在快轴方向的不均匀性为12.34%,能量利用率为96.6%;慢轴方向的不均匀性为5.42%,能量利用率为95.74%。实验结果与理论模拟的结果吻合,验证了衍射微透镜阵列光束匀化系统模型的可行性。 相似文献
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An integration method of grating array with different periods and Fabry-Perot(FP)resonator with an all-dielectric single-cavity is proposed.It is based on the capacity of spatial separation of spectral component by the grating and band-pass characteristics of filter to achieve the multi-pass band filtering.The filtering response can be tuned by changing the period of the grating rather than the cavity length of the filter.Theoretically,the relationship of the grating period and the peak wavelength is obtained by using the transfer matrix method(TMM).The device is analyzed by adopting the finite-difference time-domain(FDTD)method.The filter array can cover the wavelengths ranging from850 nm to 950 nm with the full-width at half-maximum(FWHM)of 11-28 nm,and is suitable for the integration of the micro-filter array and the detectors. 相似文献
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