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将悬臂梁结构与平行平板型结构相结合,研发了一种挠曲式静电驱动微电子机械系统(MEMS)微反射镜。为了实现大扭转角度、小驱动电压的设计目标,通过仿真实验进行对比分析,确定了微反射镜的相关尺寸。采用低压化学气相沉积、光刻、反应离子刻蚀和溅射等工艺,成功制备出了一种具有三层多晶硅结构的微反射镜。在制备过程中得出氢氟酸去除牺牲层(磷硅玻璃)释放出微反射镜结构的最佳刻蚀时间为45 s。制作了开关频率为200 kHz的MOSFET高速驱动电路,电路中的栅极驱动电阻(RG)是影响输出的关键因素。实验结果表明,当RG额定功率为300 W、电阻为47Ω时,微反射镜能够达到足够启动速度,实现高速开关的设计目标。最后,设计并搭建了微反射镜的测试系统,施加60 V的驱动电压进行测试,通过显微镜观察到微反射镜的明显动作变化以及屏幕上光斑的位移变化,表明制备的微反射镜可正常驱动。 相似文献
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通过分析历史文化街区保护利用的现状特征与实施问题,总结现有以历史文化街区保护规划为核心的实施体系在规划的可操作性与指导性、运营的即时性与专业性、设计的精确性与引导需求等方面存在的问题,探讨建构“规划—运营—设计”的互动校核关系及“上游—下游”实施衔接的专项规划编制路径的需求。在此基础上,结合苏州五卅路历史文化街区的实践,从“保护优先—运营先导—设计跟进”的内容统筹、“向上衔接汇总—向下一站服务”的实施流程两方面探索面向实施的历史文化街区保护利用专项规划编制路径,为如何有效加强城乡建设中历史文化的保护与传承提供实践参考。 相似文献
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吴嘉琦 《高分子材料科学与工程》1991,7(6):107-110
聚氯乙烯组分和薄膜厚度的改变将使焊接点最大强度和热合参数发生变化,并且可用方程来进行说明。本文用不同量的邻苯二甲酸二辛酯(DOP)进行实验,结果表明:焊接参数与具有不同塑化度的高频热合聚氯乙烯薄膜的最大接缝强度相对应。 相似文献
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