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学科分类
工业技术
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2011年
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1.
六自由度奈米测量机之量测系统组装及校正
沈金钟
觉文郁
吴家鸿
卢群中
《工具技术》
2011,45(2):103-108
介绍一个六自由度奈米级精度测量机台(行程为25mm×25mm)之量测系统的组装及系统的校正,此六自由度奈米测量机分为两部份,第一部分为利用五根压电致动器所组成的四自由度(Z、θx、θy、θz)补偿平台,用以补偿组装及加工误差.第二部份为利用V型导轨架构成之XY双轴滑轨平台,配合音圈马达之推动,使平台能达到XY轴向之定位...
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