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为了提高Z轴微机械陀螺的动态特性,采用ANSYS模态分析和流体薄膜技术完成滑膜阻尼和压膜阻尼的计算,分析了空气阻尼对陀螺的品质因数、灵敏度等性能的影响,研究结果表明,具有对称解耦能力的微机械陀螺仪主要产生滑膜阻尼,阻尼系数较小,约为1.3E-5kg/s,微机械陀螺品质因数为900.结合工艺误差和结构设计特性,提出减小微机械陀螺空气阻尼的优化方案. 相似文献
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