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Aperiodic molybdenum/silicon (Mo/Si) multilayer designed as a broadband reflective mirror with mean reflectivity of 10% over a wide wavelength range of 12.5-28.5 nm at incidence angle of 5° is developed using a numerical optimized method. The multilayer is prepared using direct current magnetron sputtering technology. The reflectivity is measured using synchrotron radiation. The measured mean reflectivity is 7.0% in the design wavelength range of 12.5-28.5 nm. This multilayer broadband reflective mirror can be used in extreme ultraviolet measurements and will greatly simplify the experimental arrangements. 相似文献
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利用电感耦合等离子体CVD方法在350℃的低温下在镀Al玻璃衬底上制备出具有良好结晶性的Si薄膜.利用x射线衍射、紫外-可见分光椭圆偏振谱、原子力显微镜及x射线光电子谱等研究了薄膜的结构、表面形貌和成分分布等.结果表明,用这种方法制备的Si薄膜不但晶化程度高,而且具有良好的(111)结晶取向性,晶粒尺寸大于300nm,样品中无Al的残留.结合电感耦合等离子体的高电子密度特征讨论了低温生长过程中Al诱导Si薄膜晶化的机理.
关键词:
电感耦合等离子体CVD
Al诱导晶化
Si薄膜
低温生长 相似文献
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以NH4F的乙二醇溶液为电解液,采用阳极氧化法在钛网表面制备了有序TiO2纳米管阵列.通过XRD、SEM等对TiO2纳米管阵列的结构、形貌进行表征,利用紫外-可见分光光度计对所制备样品的紫外可见吸收特性进行了表征.结果表明:在一定时间范围内,随着氧化时间的增加,纳米管管长和管径都会增大,但超过一定时间后,纳米管破损明显加剧且有脱落现象.另外,所制备样品的光学禁带(Eopt)比块状样品的大,但随着氧化时间的延长,纳米管的光学禁带并没有发生显著变化.不同时间下制备的纳米管对可见光的吸收率不一样. 相似文献
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研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想,运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反,在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜,利用X射线衍射仪测试了多层膜的结构,在国家同步辐射实验室测试了双功能多层膜的反射特性。结果表明:制备出的双功能膜性能与设计相符,在入射角13°,19.5 nm处的反射率达到33.3%,接近传统的19.5 nm周期高反膜的反射率,并且在30.4 nm附近将反射率由1.1%降到9.6×10-4。 相似文献
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瓜果产品的标准化生产过程涉及到几十项技术标准的制定和实施,其中最关键的标准是产品质量标准,它是整个生产过程实施和监控的目标。对于瓜果生产者而言,产品质量和安全的实现和提高,还需要建立以质量标准为目标的技术标准体系,并严格按标准体系组织生产,才能切实提高瓜果的优级率和商品率。但是不同标准化生产水平对于瓜果品质提高的影响程度,目前国内外尚无测量分析和实证研究。本文以新疆吐鲁番地区承担的国家级农业标准化生产示范项目为研究对象,2013年分别在非示范区、一般示范区、核心示范区采集了哈密瓜366个、吐鲁番葡萄431个样本,对3种标准化生产条件下哈密瓜和吐鲁番葡萄的品质进行实证比较分析,研究结果表明:核心示范区瓜果品质显著优于非示范区和一般示范区瓜果品质。 相似文献
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高效液相色谱法测定化妆品中对羟基苯甲酸酯类防腐剂 总被引:19,自引:0,他引:19
A new methodis described for the simultaneous determination of methyl , ethyl,n-propyl and n-butyl p-hydroxybenzoates(parabens)in cosmetics by HPLC. The method is simple, effective and accurate. After parabens are extracted with ethyl alcohol,the clear ethyl alcohol solution is passed through a neutral alununum oxide column to remove co-extracted lipids and pigments. Parabens are determined by reverse-phase HPLC at 254nm. 相似文献