排序方式: 共有2条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
2.
氟化类金刚石(FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料.本文简述了FDLC薄膜的结构、性能,重点介绍了其制备工艺,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响. 相似文献
1